製品情報気体流量センサー 気体流量センサー ニッケルヒーターを窒化シリコン膜に搭載し、気体流量を高感度・高速な反応にて計測します。車両用途で培われた技術で実績も多くあります。 お問い合わせ 用途・特徴 ・高信頼性、長期仕様での安定性 ・高い反応速度 ・複数の流量方向に対応可能 ・多くのガス、揮発性物質にも対応